XY精密對位平臺

• 一般環(huán)境使用

• 高精密對位平臺，可選中空設計，采用無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機和SP級交叉滾子導軌，全套雷尼紹光柵，檢測精度0.1um，平面度≤8um，可配R軸旋轉軸，多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等；

• 產(chǎn)品參數

  Tips：絲桿模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì )產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請將降低速度；最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準；馬達加減速設定為0.2s。

• 注意：限于文件大小和數量限制，高清產(chǎn)品手冊PDF版及完整的產(chǎn)品3D模型STEP文件，請聯(lián)系我司業(yè)務(wù)人員獲取，給您帶來(lái)不便敬請諒解！