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        精密運動平臺定做廠家

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        • XY軸精密對位平臺
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        XY精密對位平臺

        • 一般環境使用
        • 高精密對位平臺,可選中空設計,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,平面度≤8um,可配R軸旋轉軸,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等;

        • 產品參數

          Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度,詳情參數及選型建議咨詢業務人員。

        高精密對位平臺,可選中空設計,采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌,全套雷尼紹光柵,檢測精度0.1um,平面度≤8um,可配R軸旋轉軸,多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等;


        XY軸行程分別為:200-300mm (可定制)

        重復定位精度±0.001mm

        絕對定位精度±0.004mm

        應用行業:晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等;

        注:絕對定位精度需通過軟件修正。


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