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喜報！雷子科技通過(guò)“高新技術(shù)企業(yè)”認定！
語(yǔ)言:
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精密運動(dòng)平臺定做廠(chǎng)家
代工各類(lèi)精密直線(xiàn)運動(dòng)平臺、半導體及檢測運動(dòng)平臺
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代工各類(lèi)精密直線(xiàn)運動(dòng)平臺、半導體及檢測運動(dòng)平臺
一款直驅三軸精密運動(dòng)臺，XY軸十字疊層三片式結構，配備自潤滑的精密滾柱導軌，承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)，R軸轉臺結構扁平薄，可360度旋轉，采用光柵閉環(huán)反饋和防塵設計。用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領(lǐng)域。
Tips：絲桿模組行程超過(guò)750mm時(shí)，會(huì )產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請將降低速度；最高速度是以伺服馬達最高轉速3000RPM以下為基準；馬達加減速設定為0.2s。
注意：限于文件大小和數量限制，高清產(chǎn)品手冊PDF版及完整的產(chǎn)品3D模型STEP文件，請聯(lián)系我司業(yè)務(wù)人員獲取，給您帶來(lái)不便敬請諒解！
應用領(lǐng)域：
一款直驅三軸精密運動(dòng)臺，帶旋轉功能用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領(lǐng)域。
結構特點(diǎn)：
XY軸十字疊層三片式結構，底軸寬度約是上軸長(cháng)度的2/3，移動(dòng)到極限位置時(shí)，防止重心不穩定。配備自潤滑的精密滾柱導軌，承重大、精度高、剛性好等特點(diǎn)。R軸轉臺結構扁平薄，三軸疊層后降低工作點(diǎn)的高度，可360度旋轉，用于角度調整，是晶圓切割加工應用的理想選擇。
精度性能：
采用光柵閉環(huán)反饋，考慮材料的熱膨脹影響，加工工藝和裝配工藝等，使XY軸重復定位精度≤±0.4μm，全行程直線(xiàn)度±1μm和平面度±1.25μm，R軸微動(dòng)步距1arc sec。
防塵管理：
精密運動(dòng)臺的防塵設計，有效防止碎片、灰塵和顆粒等異物進(jìn)入直線(xiàn)臺，影響使用壽命，同時(shí)不受防塵罩擾動(dòng)力的影響。
定制化：
根據應用可選擇多種行程、定制高加速度提升生產(chǎn)效率等；可配置大理石立柱、橫梁、支撐鋼架整套系統方案。
本文關(guān)鍵詞： 精密運動(dòng)平臺
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